半導體制造行業
1.數據中心服務器/AI超算/GPU芯片
浸沒式冷卻:氟化液(如FC-40、Novec-7200)直接浸沒服務器硬件,通過高熱傳導性(接近水的熱導率)和低表面張力實現高效散熱,相比風冷節能85%以上,PUE值可降至1.1以下。
動態冷卻:在芯片老化測試中,氟化液快速吸收瞬態熱負荷,確保測試精度和設備穩定性。
2.半導體Chiller冷卻機
作為制冷劑用于光刻機、蝕刻機等設備的恒溫控制(±0.1℃精度),其熱穩定性(液程范圍-57~165℃)確保極端溫度下的可靠運行。
3.等離子蝕刻(Plasma Etching)與CVD設備
電極冷卻:氟化液(如FC-40)通過單相或雙相循環冷卻電極,防止高溫等離子體導致的設備變形,其不導電特性避免電路短路。
反應腔體控溫:在化學氣相沉積(CVD)中維持反應溫度均勻性,材料兼容性(與金屬/塑料兼容)減少設備腐蝕風險。
4.離子注入機與測試設備
氟化液(如Novec-7100)用于冷卻高能離子束生成部件,其化學惰性防止與敏感元件發生反應。
5.單/雙相冷卻系統
單相系統:FC-40憑借窄沸程(成分穩定)和高介電強度,用于半導體冷板冷卻,減少流體損失。
雙相系統:Novec-7200通過蒸發-冷凝循環被動散熱(無需額外能耗),適用于高密度GPU礦機和AI芯片散熱。
6.熱管與微通道冷卻
低表面張力特性使氟化液滲透至微觀縫隙,實現芯片級精準散熱覆蓋。
1.不導電:高介電強度(如FC-40介電強度>40kV)防止電流泄漏,保障設備安全。
2.熱穩定:寬工作溫度范圍(-90~200℃)適應極端環境,沸點高達165℃(FC-40)確保高溫不分解。
3.材料兼容性:與金屬、塑料、密封材料兼容,長期使用無腐蝕或溶脹
氣相去污與濕式清潔:Novec-7100/7200混合噴霧用于晶圓表面去污,結合去離子水浴實現高效清潔。
潤滑劑沉積與分解:Novec-7200在硬盤制造中分解PFPE潤滑劑,同時減少蒸氣損失
去除光刻膠殘留與微粒污染
光刻膠殘留:Novec-7200能有效分解氟素油和全氟聚醚(PFPE)潤滑劑,這類物質常與光刻膠殘留相關,其高潤濕性可剝離頑固污染物。
微粒污染:Novec-7100通過極性溶解力清除金屬和玻璃表面的顆粒物,而Novec-7200專為微顆粒物質(如灰塵、毛纖)和輕質油污設計,尤其適合半導體制程中的輕度臟污。
1. 氟化液低表面張力、高強滲透能力的溶劑使其能夠深入晶圓、電子元件等精密結構的微米級縫隙,實現無死角清潔。在硬盤潤滑劑沉積(如分解全氟聚醚PFPE)和晶圓傳送盒(FOUP)凈化中表現出色,尤其適用于復雜幾何形狀的深度沖洗。
2.嚴格管控離子、金屬和非揮發性殘留物,配合低表面能涂層(如EGC-1700)可進一步防止離子污染,適用于印刷電路板等精密場景。在清洗過程中不會引入二次污染,同時符合電子行業對離子殘留的嚴苛要求。
1.防污特性:通過活性硅烷基團與有機氟基團的結合,UD509、KY-1950信越等型號可有效防止指紋、墨水污漬附著,且指紋可通過擦拭輕松去除。
2.疏水疏油性:UD509大金等型號形成疏水疏油表面,保持基材清潔,適用于玻璃、不銹鋼等材質。
3.超薄膜保護:KY-1950信越等型號以納米級超薄膜涂層覆蓋基材,在實現防污功能的同時,完整保留基材原有的光學特性(如透光率)和表面紋理質地,避免傳統涂層對微觀結構的破壞。
4.耐久性:低動摩擦系數設計既便于清潔,又能防止擦拭過程中的表面劃傷,延長基材使用壽命。
5.多功能防護:KY-1950信越等型號作為UV硬化型納米透明涂料原液,兼具防油、防污、耐磨及疏水疏油特性,適用于半導體硅片、電子顯示屏等精密表面。
6.工業級穩定性:UD509大金等型號具備抗靜電、耐堿汗及抗UV性能,確保在半導體制造和終端應用中長期穩定。
1.光學保護:透明涂層不會改變基材的透光性和反光特性,尤其適合需要維持高光學性能的半導體器件和顯示組件。
2.紋理兼容性:通過納米級涂覆技術,在不增加表面厚度的前提下,完整保留硅片或玻璃基材的微觀紋理與觸感,避免因涂層導致的表面粗糙度變化。
1.優異的靜電消散性能:FC-4400通過離子液體結構(四級銨鹽陽離子與亞酰胺陰離子)實現高效電荷中和,將材料表面電阻降至10^9–10^12 Ω/sq,顯著降低靜電積累風險。這一特性可防止靜電吸附灰塵或顆粒,避免因靜電放電導致的元件損傷。
2.持久性與環境適應性:FC-4400為疏水型離子液體,低含水量使其在低濕度條件下仍保持抗靜電效果,且耐水洗,適用于潔凈室長期使用。此外,其表面電阻在寬濕度范圍內穩定,適應半導體制造中的嚴格環境要求。
3.光學透明性:FC-4400不含金屬和鹵素離子,與聚合物體系兼容性佳,添加量僅需1-5%即可達到抗靜電效果,且不影響材料透明度,適用于需要光學性能的液晶面板保護膜、感壓膠等場景。
4.高溫加工穩定性:熔點27℃,熱穩定性高達340℃,可耐受注塑、熱熔擠出等高溫工藝,避免常規抗靜電劑因分解導致的變色或產氣問題。
5.晶圓載具與托盤:抗靜電塑料通過添加FC-4400,用于制造晶圓盒、光罩盒、真空吸筆等工具,防止靜電在搬運、存儲過程中損傷芯片。
6.潔凈室環境控制:降低塑料部件表面靜電可減少塵埃吸附,避免光刻和蝕刻工序中的微塵污染,提升晶圓良率。
1.表面處理與導電填料:相較于摻入金屬粉或炭黑的導電材料,FC-4400通過離子遷移實現電荷消散,避免影響材料機械性能,更適合精密電子元件保護。
2.防靜電液局限性:臨時性防靜電涂層(如表面吸濕膜)需頻繁補涂,而FC-4400作為內添加劑的耐久性更優,適用于長期使用的塑料部件