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首頁(yè)應(yīng)用案例

半導(dǎo)體芯片、真空鍍膜應(yīng)用
  • 作者:sino-fluorine
  • 發(fā)布時(shí)間:2020-09-04
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蘇威25/6真空泵油(型號(hào)FOMBLIN Y LVAC 25/6或DRYNERT 25/6)作為全氟聚醚(PFPE)類高性能潤(rùn)滑劑,具有以下顯著優(yōu)點(diǎn):

1. 卓越的化學(xué)穩(wěn)定性與惰性

  • 對(duì)強(qiáng)酸、強(qiáng)堿、腐蝕性氣體(如氟氣、SiH?、PH?等)及氧化/還原劑表現(xiàn)出高度惰性,幾乎不與化學(xué)物質(zhì)反應(yīng),尤其適用于半導(dǎo)體工業(yè)中需接觸特種氣體的嚴(yán)苛環(huán)境。

  • 與金屬、塑料、彈性體、橡膠等材料兼容性好,避免因材料腐蝕導(dǎo)致的設(shè)備損壞。

2. 優(yōu)異的熱穩(wěn)定性與低蒸汽壓

  • 在高溫(如200°C)下仍保持穩(wěn)定,蒸發(fā)熱為7 cal/g,蒸發(fā)率極低(149°C下22小時(shí)蒸發(fā)損失僅0.6%),確保高溫環(huán)境下真空度穩(wěn)定。

  • 極低蒸汽壓(25°C時(shí)為6×10?? torr,100°C時(shí)為6×10?? torr),減少油蒸氣逆流污染,適用于高真空系統(tǒng)。

3. 出色的潤(rùn)滑性能

  • 在寬溫度范圍和高負(fù)載條件下仍能有效潤(rùn)滑,減少機(jī)械磨損,延長(zhǎng)真空泵使用壽命。

  • 低表面張力(20°C時(shí)為22 dyne/cm)和高粘度指數(shù)(113),提升泵的抽速和真空效率。

4. 安全性高

  • 無(wú)閃點(diǎn)、燃點(diǎn),不可燃,避免火災(zāi)隱患,符合半導(dǎo)體等高危行業(yè)的安全標(biāo)準(zhǔn)。

  • 低毒性且無(wú)臭氧消耗風(fēng)險(xiǎn),對(duì)人體健康和環(huán)境友好。

5. 環(huán)境適應(yīng)性與穩(wěn)定性

  • 耐輻射和光照,適用于核能、電子等特殊場(chǎng)景。

  • 寬工作溫度范圍(-35°C至200°C以上),傾點(diǎn)低至-35°C,適應(yīng)極端氣候。

6. 應(yīng)用領(lǐng)域廣泛

  • 專為單級(jí)/雙級(jí)旋片泵、羅茨泵、螺桿泵設(shè)計(jì)。

  • 在半導(dǎo)體芯片加工、真空鍍膜、化工等對(duì)潔凈度和可靠性要求高的領(lǐng)域表現(xiàn)優(yōu)異。

技術(shù)參數(shù)補(bǔ)充

  • 密度1.90 g/cm3(20°C),運(yùn)動(dòng)粘度278 CST(20°C),介電性能優(yōu)異,適合電氣應(yīng)用。

  • 抗乳化性和抗溶劑性突出,減少油品劣化和維護(hù)頻率。

綜上,蘇威25/6真空泵油憑借其全氟聚醚分子結(jié)構(gòu)的獨(dú)特優(yōu)勢(shì),在嚴(yán)苛工業(yè)環(huán)境中提供了長(zhǎng)效、安全、穩(wěn)定的潤(rùn)滑與密封解決方案。


【本文標(biāo)簽】: 溶劑清洗蒸汽除油
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